用於半導(dǎo)體/FPD工藝中超純水管理的高靈敏度二氧化矽監(jiān)測(cè)儀
SLIA-300型
在超純水二氧化矽分析方面擁有良好的記錄！
緊湊/高靈敏度的新性能。
超純水中二氧化矽的濃度對(duì)半導(dǎo)體/FPD工藝中的產(chǎn)品精度和良率有重大影響?？煽康貪M足 1μg/L （1ppb） 的測(cè)量要求。通過緊湊的桌面機(jī)身設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了整個(gè)測(cè)量範(fàn)圍內(nèi)的高靈敏度測(cè)量。憑藉出色的基本性能和高靈敏度，包括高速回應(yīng)和自診斷能力，它有力地支持半導(dǎo)體/FPD製造中的超純水工藝。
靈敏度高，可重複性好
獨(dú)特的新開發(fā)池實(shí)現(xiàn)了與低濃度相對(duì)應(yīng)的高靈敏度。5 分鐘的快速測(cè)量保證了 0 至 2 μg/L 範(fàn)圍內(nèi)滿量程的 ±2% 的重複性。

緊湊的桌面設(shè)計(jì)
新開發(fā)的電池實(shí)現(xiàn)了GM性的小型化設(shè)計(jì)。這種桌面設(shè)計(jì)可用於各種安裝條件，包括狹小的空間。它也可以用作可攜式設(shè)備。

試劑消耗量減少到 1/5
採用改進(jìn)的反應(yīng)池，試劑消耗量已減少到傳統(tǒng)試劑的 1/5。試劑的運(yùn)行成本可以顯著降低。

z多可測(cè)量 6 個(gè)點(diǎn)（可選）
可自由設(shè)置1至6個(gè)測(cè)量點(diǎn)。單個(gè)單元可用於支持多點(diǎn)測(cè)量。

自診斷功能，可監(jiān)測(cè)操作異常
自診斷功能可檢測(cè)樣品和試劑進(jìn)樣、校準(zhǔn)錯(cuò)誤、電池溫度監(jiān)測(cè)、光源異常等操作中的異常情況。如果出現(xiàn)錯(cuò)誤，則使用警報(bào)指示燈和文本顯示發(fā)送消息以通知用戶。

採用了無需更換的免維護(hù)、長(zhǎng)效光源
使用光強(qiáng)穩(wěn)定、壽命長(zhǎng)的單色半導(dǎo)體光源。它可以用作半永久性光源。
型 SLIA-300型
測(cè)量方法 鉬藍(lán)吸收測(cè)定法
測(cè)量範(fàn)圍 0 至 2 / 0 至 20 μg/L，或 0 至 5 / 0 至 50 μg/L（請(qǐng)?jiān)谙掠唵螘r(shí)注明）
測(cè)量時(shí)間 5 分鐘
測(cè)量點(diǎn) 1 至 6 分（下單時(shí)請(qǐng)注明）
再現(xiàn)性 滿量程的 ±2%
校準(zhǔn)功能 標(biāo)準(zhǔn)流體校準(zhǔn)
補(bǔ)償功能 空白補(bǔ)償
Metage 線補(bǔ)償（特定於每條線）
使用的試劑 ·試劑A：硫酸+鉬酸
銨·試劑B：草酸
·試劑C：L（+）-抗